上海华力微电子有限公司：

　　你公司《关于上海华虹（集团）有限公司“909”工程升级改造-华虹集团建设12英寸集成电路芯片生产线项目环保竣工验收的申请》(沪华力〔2014〕13号)及附送的《上海华虹（集团）有限公司“909”工程升级改造-华虹集团建设12英寸集成电路芯片生产线项目竣工环境保护验收监测报告》（总站环监字〔2014〕第103号）（以下简称《验收监测报告》）收悉。我部华东环境保护督查中心于2014年12月25日对工程进行了竣工环境保护验收现场检查。经研究，提出验收意见如下：

　　一、工程建设的基本情况

　　工程位于上海市浦东新区张江高科技园区，新建12英寸、90-45纳米集成电路芯片生产线，生产能力为3.5万片/月。生产厂房、动力厂房、化学品库均依托上海宏力半导体制造有限公司原有设施，工程总投资145亿元，其中环保投资1.57亿元。原国家环境保护总局于2006年4月批准该工程环境影响评价文件（环审〔2006〕158号），我部于2009年6月批复了项目变更环境影响评价文件（环审﹝2009﹞312号），该工程于2010年6月开工建设，经上海市环境保护局同意（沪环保评〔2014〕230号），2014年6月投入试生产。验收监测期间生产负荷达到75%，配套建设的环境保护设施已同步投入使用。

　　二、环境保护措施及环境风险防范措施落实情况

　　（一）废水

　　厂区内实施了清污分流、雨污分流，雨水管网依托上海宏力半导体制造有限公司。酸碱废水中和后经调节池排入市政污水管网进入白龙港污水处理厂。高浓度含氨废水经处理后，与低浓度含氨废水混合进行脱氨生物处理，最后排入市政污水管网进入白龙港污水处理厂。含氟废水、研磨废水、含铜废水分别经絮凝沉淀法预处理后进行脱氨生物处理，尾水排入市政污水管网进入白龙港污水处理厂。碱性、酸性废气洗涤塔废水分别汇入含氨废水处理系统和含氟废水处理系统。使用硅烷的工艺设备在生产车间内配置了燃烧水洗式除害装置，使用磷烷、砷烷的工艺设备在生产车间内配置了干法吸收式除害装置，尾气经碱液喷淋洗涤塔处理，喷淋洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理后外排。

　　有机废水根据前后道清洗工序分别接入有机废水处理系统或有机废水回收系统，经生化预处理后与其它生产废水混合进行脱氨生物处理后排入市政污水管网进入白龙港污水处理厂。纯水站排水部分进入酸碱废水处理设施、部分进入调节槽排放，循环冷却水与酸碱废水混合进入酸碱废水预处理装置处理后排入调节槽纳入市政污水管网进入白龙港污水处理厂。

　　卫生间和食堂产生的生活污水进入宏力生活污水处理系统处理达标后排入市政管网。

　　（二）废气

　　酸性废气经集中管道收集后分别通过7套（6用1备）净化装置处理后经7根36米高排气管道排放；酸性粉尘废气经集中管道收集后通过5套（4用1备）净化装置处理后经5根36米高排气管道排放。

　　碱性废气经集中管道收集后分别通过3套净化装置（其中1套备用装置与酸性废气共用）处理后经3根36米高排气管道排放。有机废气经集中管道收集后分别通过2套沸石转轮净化装置处理后经1根36米高排气管道排放。

　　使用硅烷的工艺设备在生产车间内配置了燃烧水洗式除害装置，使用磷烷、砷烷的工艺设备在生产车间内配置了干法吸收式除害装置，经过除害装置后尾气通过酸性废气的碱液喷淋洗涤塔处理纳入酸性废气处理系统。

　　（三）固体废物

　　废水处理系统产生的废过滤芯、区域性废气处理系统干式吸附处理产生的废过滤芯、有机溶剂、硫酸铵废液、含砷抹布、含铜污泥、含汞废弃物、氟化钙污泥等危险废物委托上海洁申实业有限公司、上海集承环保技术有限公司和上海市固体废物处置中心处理处置。

　　纯水系统产生的废过滤芯由生产厂商定期更换回收，废芯片、废五金等由废品公司回收。办公生活垃圾由环卫部门定期清运，统一处置。

　　（四）噪声

　　工程采用室内布设及隔声、吸声、消声、减振等措施来降低噪声影响。

　　（五）环境风险防范设施和应急措施落实情况

　　工程设置了560立方米的应急池，化学品进出药区及废液收集区的雨水排口设置了关断阀，在特气供应和使用区等场所设置了气体泄漏检测器，在IT机房、UPS室等场所设置了氮气气体灭火系统。编制了《环境污染突发事件应急预案》等，并进行了环境风险应急演练。

　　三、环保设施运行效果和项目建设对环境的影响

　　中国环境监测总站编制的《验收监测报告》表明：

　　（一）废水

　　酸性废水洗涤塔溢流水排口、生产废水市政污水管网入口、生活污水市政污水管网入口处监测的总砷日均浓度均符合《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表1B级标准。

　　生产废水市政污水管网入口、生活污水市政污水管网入口内氟化氢、总铜、硫化物符合《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表2三级标准，pH值日均浓度范围及其余各污染物日均浓度均符合《上海市污水综合排放标准》（DB31/199-1997）表4三级标准。        

　　（二）废气

　　6套酸性废气净化装置排放管道出口处非甲烷总烃、氮氧化物排放浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB12697-1996）表2二级标准，氟化氢、氯化氢、硫化氢的排放浓度符合《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表3标准。

　　2套碱性废气处理装置排气管道出口处臭气浓度、氨的等效排放速率分别符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准、《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表3标准。

　　有机废气处理装置非甲烷总烃及有排放标准考核的挥发性有机物污染因子的排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准，苯乙烯、二硫化碳排放速率符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2标准，挥发性有机物总浓度符合《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表 3标准。

　　4套粉尘废气净化装置排放管道出口处颗粒物排放浓度和等效排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB12697-1996）表2二级标准，酸性废气处理装置和粉尘废气处理装置等效排放管道内氟化氢、氯化氢、硫酸雾的等效排放速率符合《上海市半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）表3标准。

　　苯、甲苯、二甲苯、氯乙烯、氯苯类、非甲烷总烃、氮氧化物、氯化氢、颗粒物、硫酸雾、氟化氢等污染物无组织排放浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求，二硫化碳、苯乙烯、氨的浓度及臭气浓度符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表1 二级标准。

　　（三）噪声

　　工程位于上海浦东新区张江高科技园区内，工程周边200米范围内为电子生产、研发企业，无声环境目标，未进行噪声监测。

　　四、验收结论和后续要求

　　该工程在实施过程中基本按照环评文件及批复要求配套建设了相应的环境保护设施，经验收合格，准予该项目主体工程正式投入生产。

　　工程正式投运后应做好各项环保设施的日常维护和管理，确保污染物长期稳定达标排放。加强环境风险防范，不断完善应急预案，避免发生环境污染事故。

　　请上海市环境保护局做好该项目运营期的日常环境监管。        

环境保护部

2015年2月5日

　　抄送：环境保护部华东环境保护督查中心、上海市环境保护局、中国环境监测总站。

　　环境保护部办公厅2015年2月12日印发